Zeszyty Naukowe - numer 7

>> Archiwum Zeszytów >> Spis treści numeru

Paweł ANDRAŁOJĆ

Analiza możliwości pomiarów nanotopografii

Rozwój technologiczny wymusza w metrologii koniecznoś pomiaru chropowatości o wysokościach mieszczących się w skali nano. Coraz częściej potrzebne jest uzyskanie nie tylko parametrów 2D, ale także obrazu powierzchni. W artykule przedstawiono porównanie metod pomiaru
nanotopografii o największej pionowej rozdzielczości, w których wykorzystuje się takie urządzenia, jak mikroskopy sondy skanującej, interferometry i profilometry.

Strona 5-14

Recenzent: prof. dr inż. Jan CHAJDA

Informacje o autorach

mgr inż. Paweł ANDRAŁOJĆ

Politechnika Poznańska, Instytut Technologii Mechanicznej,

Zakład Metrologii i Systemów Pomiarowych,

pl. M. Sk odowskiej-Curie 5, 61-138 Poznań,

tel. +4861 665 3568, e-mail: andralojc1234@poczta.onet.pl